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PECVD石墨舟

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產品描述

 

  • 石墨舟核心技術

· 二次純化工藝,直接提高材料的純度,長周期工況條件下,石墨舟各點電阻率仍保持優異的均勻一致性,保證電流均勻,降低鍍膜色差,同時有效減緩石墨舟的氧化,提高壽命。

· 舟葉表面C-coating涂層工藝,舟頁表面平面度、光潔度更好,使舟頁和硅片之間接觸面積更大,飽和以后使用次數增加,舟使用壽命延長。

· Balance加工工藝,***大限度消除石墨舟片內應力,長周期使用后不易變形,有效減少熱延展80%以上。

 

  • 石墨舟核心指標

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