多晶硅生長爐身
它由爐體的頂部和底部。
內(nèi)壁采用316L不銹鋼和SS304L出墻。它是雙層水冷結(jié)構(gòu)。從兩側(cè)內(nèi)壁自動焊接,應(yīng)力消除,并通過了質(zhì)量檢驗(yàn)。內(nèi)壁是鏡面拋光的外表面可以根據(jù)不同的客戶端,無光澤精軋,噴砂或噴漆處理。
爐體頂部
它由四個(gè)電極灌木叢,提升導(dǎo)桿支架,熱電偶端口,壓力測量端口,空氣疲憊端口等,以滿足每一個(gè)要求多晶體生長。
底爐身
它配備了石墨碳棒支持,保留端口,中央熱電偶端口。爐底和主爐體之間很好的結(jié)合,它可以達(dá)到良好的晶體硅生長能力。