◆ 外形尺寸(不包括報(bào)警燈)  

 1350(W)×800(D)×1750(H)mm

  ◆ 倉體結(jié)構(gòu)(鋁，約125升)

 500(W)×500(D)×500(H)mm

 ◆ 旋轉(zhuǎn)平臺

 Φ 400mm ，轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)

 ◆ 等離子發(fā)生器(美國)

 頻率13.56MHZ,功率0-1250W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長時間工作

  ◆ 控制系統(tǒng)

 觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界***品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)

 前級泵/ 英國愛德華爪式干泵 GV80

二級泵/ 英國愛德華羅茨泵  EH250(70L/S)  

美國MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器      

 臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管

 ◆ 充氣系統(tǒng)

 美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(四路氣體配制)

 美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

 日本SMC及CKD高真空氣閥組件