HBI的S.P.E.E.D. TM1000石墨舟自動上下料系統是S.P.E.E.D. TM系列自動化設備中的一員。該設備用于電池生產中管式PECVD的自動裝卸舟，并為印刷線提供自動裝籃功能；適用于HBI管式PECVD及其他標準管式鍍膜設備，并適合各種標準舟和標準花籃；其靈活設計亦適用于其他定制化工藝流程。

  S.P.E.E.D. TM1000采用獨特的高精度、高速度、高穩定性的TrE TM自動化技術和超凈材料，提高硅片傳輸速度和精度，大幅降低硅片碎片率和表面沾污；其產能可達2000片/小時（10舟/小時），運行時間長；降低對熟練操作工的依賴；節省生產成本，提高生產效率。

 HBI成功實現了裝籃和裝舟過程的六軸機器人精密控制，采用了軟接觸和軟著陸技術，并設計了先進的伺服和編碼系統，以提高控制部件和機械部件的配合精度，從而確保裝舟時的精確定位，實現低碎片率和低沾污率。 客戶在選擇HBI工藝設備的同時選用S.P.E.E.D. TM1000自動化設備還可以降低開機調整時間，并獲得HBI服務團隊統一快速的專業支持

產品特點

精密軟著陸技術，獨特的取/放片結構

柔性機器人裝卸載，降低碎片率

優選超凈材料，降低硅片污染

高端精密檢測及伺服運動系統，確保高可靠性

友好界面，易安裝、易操作、易維護

結構緊湊、設計小巧，適合各類產線安裝定位

尤其適合車間后期自動化改造

客戶價值

大幅降低硅片碎片率

大幅減少硅片的人工污染

高速、精準的硅片自動化傳輸

減少人工操作、降低開機調整時間

降低熟練工依賴，節省人工投入

高產出、高運行時間

低折舊費用、低維護費用

節省生產成本，提高生產效率