1000(W)×800(D)×1750(H)mm

 ◆ 倉體結構(石英，約20升)

Φ 245mm ×400Lmm  

 ◆ 等離子發生器(德國)

頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續調節,可連續長時間工作

 ◆ 控制系統

觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界***品牌電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)

英國愛德華斡旋式干泵 GV40

美國MKS真空壓力控制節流閥及薄膜式傳感器      

臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管

 ◆ 充氣系統

美國MKS高精度電子質量流量計(2路氣體配制)

日本SMC及CKD高真空氣閥組件