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應用:
-硅太陽能電池表面鈍化(Surface Passivation)
-生產用(量產型)
特點:
-過程保證
-高產出: >1600 wph(30MW)
>3200 wph(50MW)
-易于維護
-前軀體源價格經濟
-集成化過程模組
-Cassette to Cassette 操作
-氣體管路集成化(專利技術)
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